2012年,面对快速崛起的微纳米科技,刚毕业的雷李华一头扎进微纳米计量与表征技术这一当时新兴的科技前沿领域。之后的9年里他如同一名勇士,直面科研中的艰难奋勇前行,潜心为微纳米这个秋毫之末的世界搭建计量技术基础。

秋毫之末_秋毫之末_秋毫之末

他参与、主持完成多个国家重大专项、重点研发计划项目,发表国内外论文50余篇、授权发明专利8项、完成软件著作权登记7项、撰写国家标准3项,获上海市科技进步二等奖等省部级以上科技奖项7项,为微纳米领域的科学研究与应用打了下坚实的计量技术基础。

初生牛犊

国家最需要的地方是最能体现价值的地方

2000年,微纳米科技已经成为战略性技术高地,相关研究被迅速应用到各个重要领域。而这离不开微纳米计量这门基础技术。

此时的雷李华刚硕士毕业,进入上海市计量测试技术研究院工作,他明锐地关注到了这个领域。“国家最需要的地方,一定是最能实现一个人价值的地方”,他加入了院微纳米计量科研团队,开始了微纳米计量的研究。

当时,微纳米计量缺少基础研究,大量工作必须从零开始,往往想解决一个科研难题,需要先解决一系列难题。

雷李华显示出了自己超过常人的韧性,他用了10个月,日以继夜地高强度工作,和同事们先后在多个关键基础技术研究上取得突破,为项目研究的“总攻”扫清障碍。

团队完成了“跨尺度工艺集成纳米平面尺寸标准样板的制备及溯源表征技术研究” “跨尺度微纳米测量机的研究”等上海市以及国家总局的科研项目,研发的跨尺度微纳米测量仪,填补了多个国内空白。

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赋能先导产业

独挡一面是信任更是责任

随着我国集成电路产业的快速发展,技术升级要求在微纳米的尺度里完成精准的制造和加工,而之前这个精准因为缺少计量体系支撑成为产业发展的“瓶颈”。当时,关键计量设备——纳米标准样板,几乎全部依赖进口,并需定期送至国外溯源,直接导致产品成本居高不下,也成为部分西方国家“卡脖子”的手段。

一心要做实微纳米世界计量技术基础的雷李华随着团队一次次走进中芯国际、华力半导体等知名集成电路企业,面对面地了解企业最根源的技术难题。此时,雷李华已经能够在微纳米计量与表征技术领域独立进行创新研究,他憋足了劲地开始攻克相关难题。他说,“可以独挡一面,是大家对我的信任,更是责任,我不能辜负!”。

执着的汗水换来了“复合型纳米膜厚样板的制备与溯源性研究”、“纳米膜厚标准样板的制备与表征技术研究”、“纳米尺寸线宽标准样片的研制与定标技术研究”、“大范围表面形貌测量白光场扫描技术研究”等多个科研项目的成功申报与完成,满足了集成电路产业中对微结构、高准确度、大尺寸几何参数有效测量一系列的需求。

2021年,他作为主要起草人参与编写的首个长三角计量技术规范《jjf(沪苏浙皖)Vx:微纳米线间隔标准样板校准规范》正式发布,为占全国50%以上半导体产量的长三角地区开展集成电路研发与生产提供了依据。

雷李华不甘于仅仅将微纳米计量技术应用在一个领域、一个产业。在生物医药与人工智能产业,他参与研究的“细菌检测相关的分子生物学计量溯源技术研究”项目,保证了细菌检测结果的可比、有效和国际互认。他主持的“基于光学偏折技术的多自由光学曲面同步检测方法研究” 获得上海市2021年度“科技创新行动计划”自然科学基金原创探索项目立项,将面向虚拟现实显示器、无人驾驶、光通信和太阳能光伏发电等领域,展开探索实践。

一往无前

谋事业就要勇创新讲奉献

雷李华取得这些成绩同时,个人也在李同保院士团队里攻读获得了博士学位。这些年里,他默默地把自己的青春和智慧都奉献给了这份深爱的事业。“谋事业发展就要鼓足勇气谋创新,要创新就要奉献自己的时间、精力和智慧,不断进步才不会被时代所淘汰。”正是这份紧迫感与对技术、产业的责任感,支持他面对压力和挑战一往无前。

现在,雷李华凭过硬的技术能力,担任了中国仪器仪表学会测量与控制委员会常务委员等多个专业委员会委员,同时任《红外与激光工程》杂志青年编委。

同时,他担任了同济大学、中国计量大学等校外导师,已培养12名硕士研究生,2名博士研究生。

2018年,他成为上海市静安青年英才;2020年,他获上海市人才发展基金;2021年,他成功入选上海市学术带头人(青年);2012-2020年,7次院先进,1次记功。

最近,他成功入选上海市2021年度优秀学术带头人(青年)计划项目。他也为自己未来厘定了新目标,决心将微纳米计量技术进一步面向先导产业,满足产业微型化、集成化、多参化的计量需求,继续以勇气、韧性和创新精神为上海市科创中心建设贡献力量。

供稿:市计测院 章天霈

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